【专利解密】浙江金衔接提出半导体芯片测验探针用钯合金丝加工设备计划

　　【爱集微点评】浙江金衔接揭露的半导体芯片测验探针用钯合金丝的加工设备，该设备在进行夹块对坯料进行牵引的一起，坯料对斜楔具有牵引力，进一步提高了夹块对坯料的夹持力度，然后确保了夹持的稳定性。

　　集微网音讯，半导体芯片测验探针是芯片出产不可或缺的测验工装，钯银铜合金丝是专门用于制造半导体测验探针的一种特别贵金属资料，直径为0.3至0.8毫米，长度1‑2米，具有非常好的直线性和圆度，是一种制造极端精巧的钯合金产品。

　　钯合金具有杰出的归纳功能，如高的电阻率、低的电阻温度系数、高的硬度和强度、杰出的耐磨性和抗氧化性，首要用作精细电位计绕组资料、仪器仪表弹性资料、通讯电子弹性触摸资料，是电子、计算机、仪器仪表、通讯等范畴的要害中心资料。现在，美国、英国、德国、日本，以及国内有关单位等常用的钯合金制备办法有：真空感应熔炼法、真空电弧熔炼法、定向凝结法、粉末冶金法，再结合热变形加工等。

　　微米级的探针一般选用钯合金丝进行加工制成，钯合金丝加工时需求经过屡次拉拔以满意细微的半径，现有的拉拔设备在拉拔牵引端的夹持组织结构简略，选用水平移动的夹块进行夹持，夹持的稳定性较差，拉拔过程中容易发生掉落的问题。

　　针对现有结构中的缺点，浙江金衔接在2022年3月26日请求了一项名为“一种半导体芯片测验探针用钯合金丝的加工设备”的发明专利（请求号：5.3），请求人为浙江金衔接科技股份有限公司。

　　如上图，为该钯合金丝加工设备的全体结构示意图，该结构包含底座1以及沿底座往复滑动的滑动支座2，滑动支座上开设有导向孔202与底座设置的导向滑杆102滑动衔接，底座沿滑动支座滑动方向一侧设有转盘支座3。

　　转盘支座上设有模具31，转盘支座与底座滚动衔接，滑动支座上设有夹持组件，夹持组件用以固定坯料一端牵引坯料远离转盘支座侧移动。转盘支座接近出料一侧设有堵截组织，夹持组件夹持坯料缓慢过模具后内径变小，拉拔完毕后经过堵截组织将坯料堵截。

　　如上图所示，为滑动支座的剖视结构示意图，该滑动支座包含斜楔夹块7，斜楔夹块设有两组且对称设置在滑动支座开设的榜首凹槽201内，榜首凹槽呈等腰梯形，梯形的短底朝模具一侧设置，斜楔夹块的斜面侧与滑动支座滑动衔接，斜楔夹块一端衔接有驱动组织用以调理斜楔夹块之间的间隔。

　　在对钯合金坯料进行拉拔加工时，经过驱动组织驱动斜楔夹块朝上移动，即两组斜楔夹块对坯料一端进行夹持，进一步移动滑动支座朝远离转盘支座一侧移动，然后对坯料进行拉拔。在斜楔夹块的夹持面侧设有齿槽73，然后增大坯料夹持的结实性。当滑动支座朝右侧移动时，即进行坯料拉拔时，坯料对斜楔夹块施加有向左边的牵引拉力，即上图所示中的向上的拉力，然后提高了斜楔夹块对坯料的夹持力度，确保了夹持的稳定性。

　　如上图，为上述结构中限位组织的结构示意图。该结构在转盘支座端面圆周阵列开设有多个设备卡槽303，设备卡槽为阶梯孔，模具外圆周为阶梯状，模具与设备卡槽可拆开衔接，转盘支座上还设有限位组件用以固定模具。在加工时，在设备卡槽上设备不同类型的模具，进行初度拉拔后，经过滚动转盘支座切换模具，操作方便快捷，进一缩小了模具设备和拆开的频次，提高了加工的功率。

　　此外，在转盘支座圆心处开设有圆槽302，圆槽侧壁沿径向阵列开设有多个限位限位圆槽3021，限位限位圆槽与对应的设备卡槽贯穿。限位限位圆槽内设有限位圆杆32，限位圆杆一限位限位圆槽滑动衔接，模具圆周面上开设有包容限位圆杆的定位槽。即模具设备到位后，将限位圆杆朝限位圆杆移动刺进模具上的定位槽内合作设备卡槽对模具进行轴向限位。

　　最终，咱们再来看看夹持组织的结构示意图，如上图所示。在活动卡块8上方设有斜块11，活动卡块顶端设有斜面，活动卡块与斜块滑动卡接，斜块与滑动支座水平滑动衔接。斜块与斜楔夹块之间设有榜首连杆12，榜首连杆一端与斜块铰接，另一端与斜楔夹块斜面侧铰接。

　　当斜楔夹块之间间隔缩小时，斜块远离斜楔夹块侧滑动并驱动活动卡块向下运动刺进链条4的链孔内，即斜楔夹块相对朝中心移动时，斜楔夹块经过榜首连杆带动斜块朝两边运动，进一步斜块驱动活动卡块向下移动刺进链条的链孔内。当斜楔夹块松开坯料时，即活动卡块向上运动脱离链条的链孔，然后完成夹持和套接的同步，提高了拉拔的稳定性。

　　以上便是浙江金衔接揭露的半导体芯片测验探针用钯合金丝的加工设备，该设备在进行夹块对坯料进行牵引的一起，坯料对斜楔具有牵引力，进一步提高了夹块对坯料的夹持力度，然后确保了夹持的稳定性。

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